生產設備

小批量生產晶圓熱加工

小批量生產晶圓熱加工

    工藝流程

    • 大氣壓加工
    • 退火
    • 氧化
    • 擴散
    • LPCVD(低壓化學汽相沉積)
    • PECVD(等離子增強化學汽相沉積)
    小批量生產晶圓熱加工: c.VERTICOO Mini

    快速熱處理系統

    快速熱處理系統

      工藝流程

      • 離子注入后退火
      • 生成硅化物(鈦、鈷、鎳、鉑等)
      • 氧化
      • 磷硅酸鹽玻璃回流
      • 金屬化退火
      • 進一步應用
    快速熱處理系統: c.RAPID 200
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