生產設備

低壓擴散爐的問世,標志著centrotherm為晶體硅太陽電池擴散工藝設定了全新標準

低壓擴散爐的問世,標志著centrotherm為晶體硅太陽電池擴散工藝設定了全新標準

    工藝流程

    • 三氯氧磷擴散
    • 三溴化硼擴散
    管式低壓擴散爐: c.DIFF LP

    水平管式LPCVD系統,用于本征或原位摻雜的多晶硅薄膜量產

    水平管式LPCVD系統,用于本征或原位摻雜的多晶硅薄膜量產

      工藝流程

      • LPCVD
    LPCVD系統: c.DEPO X

    電池生產中用于燒結金屬電極的燒結爐

    電池生產中用于燒結金屬電極的燒結爐

      工藝流程

      • 正面金屬化燒結
      • 背面觸點合金化
      • 干燥金屬化漿料
    快速燒結爐: c.FIRE

    光熱再生爐- 抑制太陽能電池片LID衰減

    光熱再生爐- 抑制太陽能電池片LID衰減

      工藝流程

      • 太陽能電池片光熱再生    
      • 硼氧對缺陷鈍化
    再生爐: c.REG

    研發晶體硅太陽能電池應用的批量類系統

    研發晶體硅太陽能電池應用的批量類系統

      工藝流程

      • 大氣壓
        擴散 | 濕氧化與干氧化 | 接觸燒結 | 退火
      • 低壓
        氧化物 | 氮化物 | 氮氧化物
      • LPCVD (低壓化學汽相沉積)
        多晶硅(摻雜多晶硅與不摻雜多晶硅) | 四氮化三硅 | 氧化物 | 氮氧化物
    研發系統: c.LAB
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